高純度氣體流量測量，為何選用美國EPI氣體質(zhì)量流量計(jì)？

高純度氣體流量測量，為何選用美國EPI氣體質(zhì)量流量計(jì)？

1.直接測量氣體質(zhì)量流量，無需溫度、壓力補(bǔ)償，量程比大，一般300:1。

2.流量計(jì)所帶管段采用EP管或BA管，材料為SS316L,滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。一般與現(xiàn)場管路連接方式為：對焊，加長自動焊，卡箍，卡套。

AP管- Annealed and Pickled Pipe酸洗管；(Ra≤2.5μm)

MP管- Mechanically Polished Pipe機(jī)械拋光管(Ra≤0.4μm)

BA管- Bright Annealed Pipe光亮退火管(Ra≤0.3μm

EP管- ElectroPolished Pipe電拋光管(Ra≤0.2μm)

3.采用專利的VCR探頭結(jié)構(gòu)，密封性能好,適合純度、潔凈度要求高的氣體。

4.流量計(jì)采用原氣標(biāo)定（H2，He,Ar,CO2,N2), 保證流量測量的準(zhǔn)確度。

5.采用VCR探頭結(jié)構(gòu)，可容易取出，進(jìn)行年度和周期流量計(jì)檢驗(yàn)校準(zhǔn)；校準(zhǔn)標(biāo)定后，可方便裝回原處，不必破壞原來管路。

以上就是為什么INTEL、三星半導(dǎo)體、美國TI、華星光電等國內(nèi)外芯片廠商選擇EPI流量計(jì)的原因。