高純氣體PO2的在線質(zhì)量流量的測量

在半導(dǎo)體工廠，對于高純氧氣PO2的流量監(jiān)測，因?yàn)楝F(xiàn)場管道為1英寸EP管，故此采用帶EP管段式的熱質(zhì)流量計(jì)（可參考圖示）。
它的表頭和管段之間采用VCR接口方式，以方便日后每年1次的年度校準(zhǔn)，擰下VCR的公頭即可。該流量計(jì)管段和現(xiàn)場管道采用焊接方式；表頭可顯示瞬時(shí)質(zhì)量流量和累積質(zhì)量流量；同時(shí)可通過4-20mA/MODBUS等輸出方式將數(shù)據(jù)傳遞給上位主機(jī)。該流量計(jì)具有1級(jí)精度、原氣標(biāo)定、重復(fù)性好、免維護(hù)和壽命長等特點(diǎn)，已經(jīng)成為半導(dǎo)體工廠對于PO2、GN2、HPCDA、MPCDA、PHe、PAr、GH2等氣體流量監(jiān)測的優(yōu)先選擇。